單面拋光機(jī)910/1300/1450
? ? ? ?單面拋光機(jī)由拋光盤、上壓頭、拋光液供應(yīng)系統(tǒng)等單體組成,通過上壓頭給產(chǎn)品施加壓力,同時(shí)通過拋光盤和上壓頭的旋轉(zhuǎn)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行加工,以達(dá)到需求的平面度和光潔度。
所屬分類:
單面拋光機(jī)
- 產(chǎn)品描述
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| 設(shè)備概述
單面拋光機(jī)由拋光盤、上壓頭、拋光液供應(yīng)系統(tǒng)等單體組成,通過上壓頭給產(chǎn)品施加壓力,同時(shí)通過拋光盤和上壓頭的旋轉(zhuǎn)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行加工,以達(dá)到需求的平面度和光潔度。| 應(yīng)用領(lǐng)域
應(yīng)用于碳化硅(SiC)、硅(Si)、氮化鎵(GaN)、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等半導(dǎo)體材料的拋光,同時(shí)可用于藍(lán)寶石、陶瓷、水晶、MEMS、光學(xué)產(chǎn)品等材料的加工。| 設(shè)備特點(diǎn)
? 整體鑄造式鑄鐵機(jī)身,高剛性,高穩(wěn)定性。
? 采用高剛性、低振動(dòng)的主軸,防止加工過程中產(chǎn)生抖動(dòng)。
? 采用特殊上壓頭、大盤冷卻結(jié)構(gòu),有效控制盤面平整度。
? 大盤、上壓頭采用軟啟動(dòng),防止碎片、崩邊和破損。
? 實(shí)時(shí)可視化的加工過程監(jiān)控。
? 分段式壓力控制系統(tǒng)。
? SECM/GEM、MES系統(tǒng)。| 設(shè)備型號(hào)